清浄度(クラス)と規格表 | 業種別参考清浄度
清浄度(クラス)について | ESC
清浄度(クラス)とは、クリーンルーム設置後パーティクルカウンターで測定した時、室内の浮遊微粒子である塵・ホコリや浮遊微生物がどれくらい少ないか、それは定められた清浄度レベル以下に管理されているかで判断されます。
その清浄度レベルはクリーンルーム・クリーンブースに用いられ規格により異なり、またお客様の作業内容によっても必要な環境は変わります。
ISO規格・JIS規格・米国連邦規格などがあり、一定の体積中にどれだけの大きさの粉塵が何個あるかということです。
現在ISO規格に移行されていますが、クリーン業界では米国連邦規格(209D)を基準としているお客様が多くいます。
清浄度規格基準
- ISO規格・JIS規格…
0.1μm以上の微小粒子が1m3中にどれだけあるかを表す - 米国連邦規格…
0.5μm以上の微小粒子が1立方フィート(28.3L)中にどれだけあるかを表す
清浄度規格表 / 業種別参考清浄度
清浄度規格表
業種別参考清浄度
▶︎工業用クリーンルーム(ICR)
▶︎バイオロジカルクリーンルーム(BCR)